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客户需求配置表
承载对象
    晶圆
  • 尺寸
  • 类型
    μm
  • 材质
  • 来源
    非晶圆
  • 尺寸
  • 类型
    kg
  • 材质
  • 来源
对接对象
  • 对接对象
运动范围
  • 取放距离
    mm
  • 允许回转半径
    mm
  • 最低取放高度
    mm
  • 最高取放高度
    mm
  • R-home位置
    °（待机状态手臂原点位置）
  • θ轴-home位置
    °（θ轴原点位置）
手臂数量
  • 手臂数量
选配项
  • 特殊模组
  • 末端执行器
  • Mapping传感器位置
  • 直线电机模组
    mm
  • Robot-控制箱线缆长度
    m（超柔线）
  • 控制箱-教导器线缆长度
    m（超柔线）
  • 备注事项
    • 请在您的客户经理协助下填写此表格
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